Elektroninio mikroskopo vaizdo gavimo sistema
1. Objektyvinis lęšis ir stigmatizatorius
Objektyvinis lęšis yra pirmasis vaizdo gavimo sistemos lęšis. Elektroninio mikroskopo veikimą daugiausia lemia objektyvo lęšio optinės charakteristikos. Bet kokius objektyvo lęšio trūkumus dar labiau padidins kiti vaizdo gavimo sistemos objektyvai. Todėl objektyvo lęšio aberacija turi būti kuo mažesnė, o padidinimas pakankamai didelis, o objektyvas su stipriu sužadinimu, trumpu židinio nuotoliu (15-3mm) ir objektyvo diafragma paprastai yra naudojamas sferinei aberacijai sumažinti. Kadangi optinė diafragma per maža, objektyvo lęšio skiriamoji geba sumažės dėl difrakcijos efekto, o elektronų pluošto trukdžiai bus stiprūs dėl optinio krašto taršos poveikio, todėl optinė diafragma negali būti per maža. .
Stigmatizatorius yra svarbi dalis, užtikrinanti, kad objektyvo objektyvo skiriamoji geba būtų pagerinta. Jis naudoja reguliuojamo stiprumo ir orientacijos magnetinį lauką, kad ištaisytų ašinį astigmatizmą, kurį sukelia ne ašimetrinis objektyvo lęšis.
Dažniausiai naudojamas elektromagnetinis stigmatizatorius sudarytas iš dviejų keturių porų elektromagnetų grupių, tolygiai išdėstytų aplink tarpą tarp polių dalių. Susidarę du elipsiniai koreguojantys magnetiniai laukai yra statmeni vienas kitam, o keičiant dviejų elektromagnetų rinkinių sužadinimo intensyvumą ir magnetinio lauko kryptį, galima suformuoti nesisukantį simetrišką koreguojantį magnetinį lauką. Jei jo stiprumas yra lygus lęšio astigmatizmo laukui, o kryptys yra statmenos viena kitai, tai gali pašalinti astigmatizmą.
2. Tarpinis veidrodis ir projekcinis veidrodis
Tarpinis veidrodis yra silpnas magnetinis lęšis su dideliu židinio nuotoliu ir kintamu didinimu. Vidinė stulpelio anga yra didesnė, o padidinimas yra tarp 0-20. Kai padidinimas didesnis nei 1, jis naudojamas objektyvo veidrodžiui padidinti; kai padidinimas yra mažesnis nei 1, jis naudojamas objektyvo veidrodžiui sumažinti.
Projekcinis veidrodis yra trumpo židinio nuotolio stiprus magnetinis lęšis, naudojant aukštyn ir žemyn simetriškus mažos diafragmos polius, kad būtų pasiektas didelis padidinimas. Projekcinis veidrodis turi tam tikrą sužadinimo srovę, kuri atlieka vidurinio vaizdo padidinimo ir projektavimo į fluorescencinį ekraną vaidmenį.
3. Trijų pakopų stiprinimas
Didžiausią elektroninio mikroskopo padidinimą lemia tokie veiksniai kaip prietaiso veikimas, fotografijos pagrindo plokštės (arba fluorescencinio ekrano) skiriamoji geba ir kt. 200,000 kartų. Objektyvas padidina pavyzdžio detales 100 kartų ir suformuoja vaizdą ant objektyvo veidrodžio, o tarpinis veidrodis padidina objektyvo vaizdą 20 kartų ir atvaizduoja jį projekciniame veidrodyje; projekcinis veidrodis padidina tarpinio veidrodžio vaizdą 100 kartų ir suformuoja vaizdą fluorescenciniame ekrane. Sustiprintų vienuolių skaičių galima reguliuoti keičiant vidurinio įdėklo jaudinančią srovę. Pakeitus vidurinio miesto sužadinimo srovę, objektyvo lęšio sužadinimo srovė taip pat turėtų būti atitinkamai pakeista, kad objektyvo lęšio veidrodinė plokštuma būtų susiliejusi su viduriniu tvirtinimo paviršiumi, kad būtų gautas aiškus objektyvo vaizdas. židinio taškas.
Trijų pakopų vaizdo gavimo sistemoje, pakeitus objekto sužadinimo srovę, objektyvo lęšio vaizdas gali būti padarytas po viduriniu laikikliu.
Objekto veidrodis yra „virtualus objektas“, kuris projekcinio veidrodžio objekto paviršiuje A suformuojamas į mažą realų vaizdą. Projekcinis veidrodis atvaizduojamas fluorescenciniame ekrane, todėl galima gauti elektroninį vaizdą, padidintą nuo tūkstančių iki dešimčių tūkstančių kartų. Šiuo metodu sukuriamas vaizdo iškraipymas gali būti sumažintas abipusiai kompensuojant tarpinio veidrodžio cilindrinį iškraipymą ir projekcinio veidrodžio pagalvėlės iškraipymą.
Jei objektyvo lęšis uždarytas ir vaizdavimui naudojamas tarpinis veidrodis, o ne objekto miestelis, padidinimą galima sumažinti iki maždaug 100-300 plius ir galima gauti didesnio matymo lauko vaizdus.
