Elektroninis mikroskopas susideda iš kelių dalių
Elektroninis mikroskopas susideda iš trijų dalių: lęšio cilindro, vakuuminio įrenginio ir maitinimo spintos.
1. Objektyvo cilindrą daugiausia sudaro elektronų šaltiniai, elektroniniai lęšiai, mėginių laikikliai, fluorescenciniai ekranai ir detektoriai. Šie komponentai paprastai surenkami į cilindrą iš viršaus į apačią.
Elektroninis lęšis naudojamas elektronams fokusuoti ir yra svarbiausias elektroninio mikroskopo vamzdžio komponentas. Paprastai naudojami magnetiniai lęšiai, kartais naudojami ir elektrostatiniai lęšiai.
2. Vakuuminis įtaisas naudojamas užtikrinti vakuumo būseną mikroskope, kad elektronai nebūtų sugerti ar nukreipti jo kelyje. Jį sudaro mechaninis vakuuminis siurblys, difuzinis siurblys ir vakuuminis vožtuvas, o išmetimo vamzdžiu sujungtas su objektyvo cilindru.
3. Maitinimo spinta sudaryta iš aukštos įtampos generatoriaus, žadinimo srovės stabilizatoriaus ir įvairių reguliavimo valdymo blokų.
