Kodėl elektroniniam mikroskopui reikalinga vakuuminė sistema?
Dėl lėto elektronų judėjimo ore būtina palaikyti elektroninio mikroskopo vakuuminį laipsnį per vakuuminę sistemą. Priešingu atveju ore esančios molekulės trukdys skleisti elektronų pluoštą ir neleis vaizduoti. Norėdami gauti vakuumą elektroninio mikroskopo vamzdyje, nuosekliai prijunkite dviejų tipų vakuuminius siurblius. Kai paleidžiamas elektroninis mikroskopas, pirmosios pakopos rotacinis siurblys įgauna žemą vakuumą kaip antrojo pakopos siurblio išankstinį vakuumą; Antrame etape naudojamas alyvos difuzijos siurblys, kad būtų pasiektas didelis vakuumas.
Nuskaitymo elektronų mikroskopija naudoja didelės{0}}energijos elektronų pluoštus objektams nuskaityti ir vaizduoti. Norint užtikrinti vaizdo skiriamąją gebą, elektronų pluoštą reikia kolimuoti ir sufokusuoti kaip spindulį. Jei ne vakuumas arba nepakankamas vakuumo laipsnis, didelės-energijos elektronų pluoštai būtų sugerti arba išsklaidyti, kai atsitrenktų į oro molekules, sutrikdytų jų kolimaciją ir taptų neįmanoma atvaizduoti.
Vakuumas atlieka dvi funkcijas: viena – neleisti oro molekulėms išsklaidyti elektronų, o tai gali lemti prastą elektronų pluošto fokusavimą; Kitas būdas yra išvengti elektronų energijos praradimo po susidūrimo su oro molekulėmis.
Vakuumo svarba elektronų mikroskopijai: Vakuumas atlieka labai svarbų vaidmenį elektroninėje mikroskopijoje. Kai elektroninis mikroskopas veikia, visas elektronų pluošto kelias ir tiriamas mėginys bus patalpinti į didelio vakuumo aplinką. Jei vakuumo laipsnis nėra pakankamai aukštas, tarp elektronų pistoleto užtvaro ir anodo gali atsirasti tarpelektrodų iškrova, o tai gali perdegti kaitinimo siūlą. Elektronų pluošto ir likusių oro dalelių susidūrimai taip pat gali sukelti sklaidą, o tai gali neleisti elektronų pluošte esantiems elektronams pasiekti mėginį arba iškreipti analizę.
Vakuuminiai elektroninių mikroskopų reikalavimai: Kad elektronai elektronų pluošte judėtų kuo sklandžiau, elektroninių mikroskopų vakuuminis laipsnis paprastai turi pasiekti aukštą vakuumą, kurio dydis yra 1E-7 mbar arba net itin-didelį vakuumą, kurio dydis yra 1E-10 mbar Be vakuumo laipsnio, vibracijos lygis veikiant vakuuminiam siurbliui taip pat yra labai svarbus. Dėl mažo elektronų pluošto skerspjūvio padėties nustatymo tikslumas pavyzdyje yra labai didelis, o tokį tikslumą galima išlaikyti tik aplinkoje, kurioje vibracijos lygis yra itin žemas; Be to, norint išvengti mėginio arba vidinių mikroskopo komponentų užteršimo alyvos garais, geriausia naudoti be alyvos sausą vakuuminį siurblį.
