Kokie yra keturi dažniausiai naudojami lygio nustatymo metodai?
1. Jutiklio matavimo metodas
Apytiksliai plokštumo matavimui bet kada ir bet kur galima naudoti tik nešiojamų matuoklių rinkinį. Šiuo metu daugelis gamyklų vis dar naudoja šį aptikimo metodą. Dėl mažo tikslumo, ploniausias įprastas matuoklis yra 10 um, aptikimo efektyvumas mažas, rezultatas nėra pakankamai išsamus ir galima aptikti tik detalės kraštą.
2. Skysčio lygio metodas
Pagal jungties veikimo principą jis tinka ištisinių arba nepertraukiamų didelių plokštumų plokštumui matuoti, tačiau išmatuoti užtrunka ilgai ir yra jautrus temperatūrai, todėl tinka tik žemo matavimo tikslumo plokštumoms.
3. Lazerinio plokštumos interferometro matavimo metodas
Dažniausiai naudojama plokščiųjų kristalų interferometrija. Tačiau jis daugiausia naudojamas lygioms mažoms plokštumoms, tokioms kaip mikrometro matavimo paviršius, matuoklio darbinis paviršius ir optinis lęšis, matuoti.
4. Lygio matuoklio matavimo metodas
Jis plačiai naudojamas matuojant ruošinio paviršiaus tiesumą ir lygumą. Didelis matavimo tikslumas, geras stabilumas, mažas dydis, patogus nešiotis. Tačiau naudojant šį metodą matavimui, būtina pakartotinai perkelti prietaiso padėtį ir fiksuoti kiekvieno matavimo taško duomenis, o tai užima daug laiko, daug pastangų, ilgas derinimo laikas, o duomenų apdorojimo procedūra yra sudėtinga.
5. Skaitiklio matavimo metodas
Tipiški panaudojimo būdai yra plokšteliniai mikrometrai ir trijų koordinačių prietaisai, tarp kurių plačiausiai naudojami trijų koordinačių prietaisai. Matavimo metu indikatorius juda ant tiriamo mėginio, o kiekvieno matavimo taško duomenys matavimo atskaitos atžvilgiu yra išmatuojami pagal pasirinktus išdėstymo taškus, o tada apdorojant duomenis įvertinama lygumo paklaida. Tačiau jo efektyvumas yra mažas, paprastai mėginys trunka keletą minučių, toli gražu ne 15 ppm.
