Konfokalinių mikroskopų taikymas puslaidininkių pramonėje
Didelio masto Todėl tikslus plokštelių pjovimo griovelio dydžio valdymas ir matavimas yra esminė gamybos proceso grandis.
VT6000 serijos konfokalinis mikroskopas yra Zhongtu Instrument paleista mikroskopinio tikrinimo įranga, plačiai naudojama puslaidininkių gamybos ir pakavimo procesuose. Jis gali atlikti ne-kontaktinį nuskaitymą ir atkurti sudėtingų formų ir stačių lazeriu pjaustytų griovelių paviršiaus ypatybių trimatę morfologiją.
VT6000 serijos konfokalinis mikroskopas pasižymi puikia optine skiriamąja geba ir gali išsamiai stebėti plokštelės paviršiaus charakteristikas per aiškią vaizdavimo sistemą, pvz., stebėti, ar nėra defektų, tokių kaip briaunų lūžiai ir įbrėžimai ant plokštelės paviršiaus. Elektrinis bokštas gali automatiškai perjungti skirtingus objektyvo padidinimus, o programinė įranga automatiškai užfiksuoja funkcijų kraštus, kad būtų galima greitai išmatuoti dviejų-dimensijų dydį ir taip efektyviau aptikti ir kontroliuoti plokštelės paviršių.
Pjaunant plokšteles lazeriu, reikia tiksliai nustatyti padėtį, kad būtų galima iškirpti griovelius pagal teisingą plokštelės kontūrą. Plokščių segmentavimo kokybė paprastai matuojama pagal pjovimo griovelių gylį ir plotį. VT6000 serijos konfokalinis mikroskopas, pagrįstas konfokaline technologija ir aprūpintas didelės spartos-nuskaitymo moduliais, turi profesionalią analizės programinę įrangą su kelių sričių ir automatinio matavimo funkcijomis. Jis gali greitai atkurti išbandytos plokštelės lazerinio griovelio trimatį-kontūrą ir atlikti kelių profilių analizę, kad gautų skerspjūvio kanalo gylio ir pločio informaciją.
