Kiekvienos konfokalinio mikroskopo dalies pavadinimas ir funkcija
Remiantis konfokalinės technologijos principu, konfokalinis mikroskopas naudojamas įvairių precizinių prietaisų ir medžiagų paviršiui matuoti mikro ir nano lygmeniu ir gali tiesiogiai vaizduoti medžiagų mėginių paviršiaus morfologiją, kai šoninė skiriamoji geba yra iki 1 nm. ir Z ašies skiriamoji geba iki 0,5 nm. Jis gali ne tik išmatuoti mėginio paviršiaus morfologiją ir atlikti profilio dydžio matavimo mikroskopinės morfologijos apibūdinimo funkciją, bet ir atlikti penkias pagrindines analitines funkcijas, tokias kaip šiurkštumo analizė, geometrinio profilio analizė, struktūrinė analizė, dažnio analizė ir funkcinė analizė. analizė. Taip pat pateikiama šiurkštumo analizė, geometrinio profilio analizė, struktūrinė analizė, dažnio analizė ir funkcinė analizė.
Šiurkštumo analizė apima visų parametrų analizę pagal ISO4287 linijos šiurkštumą, ISO25178 paviršiaus šiurkštumą, ISO12781 lygumą ir kt.; geometrinė kontūro analizė apima žingsnio aukščio, atstumo, kampo, kreivumo ir kitų požymių matavimus bei tiesumo, apvalumo ir formos tolerancijos įvertinimą; struktūrinė analizė apima skylių tūrį ir lovio gylį ir kt.; dažnio analizė apima grūdų krypties ir spektro analizę; funkcinė analizė apima krypties ir dažnio spektro analizę; dažnių analizė apima krypties ir dažnių spektro analizę; taip pat galima atlikti funkcinę analizę. Dažnio analizė apima tekstūros krypties ir spektro analizę; Funkcinė analizė apima SK parametrus ir tūrio parametrus.
Konfokalinio mikroskopo struktūrą daugiausia sudaro: mikroskopas, lazerinis šviesos šaltinis, skenavimo įrenginys, detektorius, kompiuterinė sistema (įskaitant duomenų gavimą, apdorojimą, konvertavimą, taikomąją programinę įrangą), vaizdo išvesties įtaisas, optinis įrenginys ir konfokalinė sistema.
Keramikos, metalų, puslaidininkių, lustų ir kitų medžiagų mokslo ir gamybos tikrinimo srityse konfokalinis mikroskopas turi platų pritaikymo spektrą. Konfokalinis mikroskopas, pagrįstas konfokalinės mikroskopijos principu, bekontakčiu prietaiso paviršiaus nuskaitymu ir paviršiaus 3D vaizdo nustatymu, naudojant sistemos programinę įrangą įrenginio paviršiuje, apdorojant ir analizuojant 3D vaizdo duomenis, kad būtų galima gauti 2D, 3D parametrus, atspindinčius įrenginio paviršiaus kokybę, pasiekti įrenginio paviršiaus morfologijos 3D matavimą.
Gali būti plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos ir pakavimo procesų tikrinimui, 3C elektroniniam stiklo ekranui ir jo tikslioms dalims, optiniam apdirbimui, mikro nanomedžiagų gamyboje, automobilių dalyse, MEMS įrenginiuose ir kitoje itin tikslaus apdirbimo pramonėje ir aviacijos pramonėje, mokslinių tyrimų institutuose ir kitose srityse. Išmatuokite ir analizuokite įvairių gaminių, komponentų ir medžiagų paviršių paviršiaus profilį, paviršiaus defektus, nusidėvėjimą, koroziją, lygumą, šiurkštumą, bangavimą, porų tarpą, žingsnių aukštį, lenkimo deformaciją, apdirbimą ir kitas paviršiaus ypatybes.
