Įvadas į skenuojamojo elektroninio mikroskopo funkcijas
Skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM) yra didelio tikslumo instrumentas, naudojamas didelės skiriamosios gebos mikro ploto morfologijos analizei. Jis pasižymi dideliu lauko gyliu, didele skiriamąja geba, intuityviu vaizdu, stipriu trijų matmenų pojūčiu, plačiu didinimo diapazonu ir galimybe pasukti ir pakreipti tiriamąjį pavyzdį trimatėje erdvėje. Be to, jis turi daug įvairių išmatuojamų mėginių tipų, beveik nepažeidžia pradinio mėginio ar neužterštos, taip pat gali vienu metu gauti morfologiją, struktūrą, sudėtį ir kristalografinę informaciją. Šiuo metu skenuojanti elektroninė mikroskopija plačiai naudojama atliekant mikroskopinius tyrimus tokiose srityse kaip gyvosios gamtos mokslai, fizika, chemija, teisingumas, žemės mokslai, medžiagų mokslas ir pramoninė gamyba. Vien tik žemės mokslų srityje tai apima kristalografiją, mineralogiją, naudingųjų iškasenų telkinius, sedimentologiją, geochemiją, gemologiją, mikrofosilijas, astrogeologiją, naftos ir dujų geologiją, inžinerinę geologiją ir struktūrinę geologiją.
Nors skenuojanti elektroninė mikroskopija yra naujokas mikroskopų šeimoje, dėl daugybės privalumų jos vystymosi greitis yra labai greitas.
Prietaisas turi didelę skiriamąją gebą ir gali stebėti maždaug 6 nm detales mėginio paviršiuje per antrinį elektroninį vaizdą. Naudojant LaB6 elektronų pistoletą, jį galima dar pagerinti iki 3 nm.
Prietaisas turi platų didinimo pakeitimų diapazoną ir gali būti nuolat reguliuojamas. Todėl stebėjimui pagal poreikį galima pasirinkti įvairaus dydžio matymo laukus, o esant dideliam padidinimui taip pat galima gauti aiškius didelio ryškumo vaizdus, kuriuos sunku pasiekti naudojant bendrą perdavimo elektroninę mikroskopiją.
Mėginio lauko gylis ir matymo laukas yra dideli, o vaizdas yra turtingas trimatis. Jis gali tiesiogiai stebėti šiurkščius paviršius su didelėmis bangomis ir nelygiais mėginio metalo lūžių vaizdais, todėl žmonės jaučiasi esantys mikroskopiniame pasaulyje.
4 mėginius paruošti paprasta. Kol bloko ar miltelių mėginiai yra šiek tiek apdoroti arba neapdoroti, juos galima tiesiogiai stebėti skenuojančiu elektroniniu mikroskopu, kuris yra artimesnis natūraliai medžiagos būsenai.
5. Vaizdo kokybę galima efektyviai valdyti ir pagerinti naudojant elektroninius metodus, tokius kaip automatinis ryškumo ir kontrasto palaikymas, mėginio pakreipimo kampo koregavimas, vaizdo pasukimas arba vaizdo kontrasto tolerancijos gerinimas naudojant Y moduliaciją, taip pat vidutinis ryškumas ir tamsumas įvairios vaizdo dalys. Naudojant dvigubo didinimo įrenginį arba vaizdo parinkiklį, fluorescenciniame ekrane vienu metu galima stebėti įvairaus padidinimo vaizdus.
6 gali būti atlikta išsami analizė. Įdiekite bangos ilgio dispersinį rentgeno spektrometrą (WDX) arba energijos dispersinį rentgeno spektrometrą (EDX), kad jis veiktų kaip elektronų zondas ir aptiktų atsispindėjusius elektronus, rentgeno spindulius, katodoliuminescenciją, perduodamus elektronus, Augerio elektronus ir kt. pagal pavyzdį. Išplečiant skenuojančios elektroninės mikroskopijos taikymą įvairiems mikroskopiniams ir mikro plotų analizės metodams, įrodytas skenuojančios elektroninės mikroskopijos daugiafunkciškumas. Be to, stebint morfologijos vaizdą taip pat galima analizuoti pasirinktas mėginio mikro sritis; Sumontavus puslaidininkinio mėginio laikiklio priedą, per elektrovaros vaizdo stiprintuvą galima tiesiogiai stebėti tranzistorių ar integrinių grandynų PN jungtis ir mikrodefektus. Įdiegus elektroninį kompiuterinį automatinį ir pusiau automatinį daugelio skenuojančių elektroninių mikroskopinių elektronų zondų valdymą, kiekybinės analizės greitis labai pagerėjo.
