Pristatome kaip niekada anksčiau automatizuotą atominių jėgų mikroskopą
NX-3DM automatinė atominės jėgos mikroskopo sistema, kurią pristatė Park Systems, yra specialiai sukurta iškyšos kontūrams, didelės raiškos šoninės sienelės vaizdams ir kritinio kampo matavimui. Naudodamas unikalią nuo XY ir Z ašies nepriklausomą nuskaitymo sistemą ir pakreipiamą Z ašies skaitytuvą, NX-3DM sėkmingai įveikia įprastų ir platėjančių galvučių keliamus iššūkius atliekant tikslią šoninių sienelių analizę. Naudojant True Non-Contact™ režimą, NX-3DM leidžia neardomai išmatuoti minkštus fotorezistus su didelio formato santykio antgaliais.
precedento neturintis tikslumas
Puslaidininkiams mažėjant, dabar reikia sukurti nanomastelį, tačiau tradiciniai matavimo įrankiai negali užtikrinti tokio tikslumo, kuris reikalingas nanoskalės projektavimui ir gamybai. Atsižvelgdama į šį pramonės matavimo iššūkį, Park AFM padarė daug technologinių laimėjimų, tokių kaip skersinio pokalbio pašalinimas, leidžiantis pasiekti be artefaktų ir neardomąjį vaizdą; Naujasis 3D AFM leidžia didelės raiškos šoninių sienelių ir apatinių dalių vaizdavimą.
precedento neturintis pralaidumas
Dėl mažo pralaidumo apribojimo nanoskalės dizainas negali būti naudojamas gamybos kokybės kontrolei, tačiau tai leidžia atominės jėgos mikroskopija. Su Park Systems išleistu didelio našumo sprendimu atominės jėgos mikroskopija taip pat pateko į automatizuotos internetinės gamybos sritį. Tai apima naujovišką magnetinio zondo pakeitimo funkciją, kurios sėkmės rodiklis yra 99 proc., didesnis nei naudojant įprastą vakuumo technologiją. Be to, norint optimizuoti procesą ir pralaidumą, reikia aktyvaus klientų bendradarbiavimo, kad būtų pateikti visi neapdoroti duomenys.
Beprecedentis ekonomiškumas
Nano skalės matavimų tikslumas ir didelis pralaidumas turi būti derinamas su ekonomiškai efektyviais sprendimais, kad būtų galima pradėti nuo mokslinių tyrimų iki realių gamybos programų. Atsižvelgdama į šį išlaidų iššūkį, Park Systems pristatė pramoninio lygio atominės jėgos mikroskopo sprendimą, kad automatiniai matavimai būtų greitesni ir efektyvesni, o zondai būtų patvaresni! Atsisakėme lėto ir brangaus skenuojamojo elektroninio mikroskopo ir perėjome prie efektyvaus, automatizuoto ir prieinamo 3D atominės jėgos mikroskopo, kad dar labiau sumažintume internetinės pramoninės gamybos matavimo išlaidas. Šiandien gamintojams reikia 3D informacijos, kad apibūdintų tranšėjos profilius ir šoninių sienelių variantus, kad būtų galima tiksliai nustatyti naujų dizainų defektus. Modulinė AFM platforma leidžia greitai pakeisti techninę ir programinę įrangą, todėl atnaujinimai tampa ekonomiškesni ir nuolat optimizuojami sudėtingi ir reikalaujantys gamybos kokybės kontrolės matavimai. Be to, mūsų AFM zondai tarnauja mažiausiai 2 kartus ilgiau, o tai dar labiau sumažina nuosavybės išlaidas. Tradiciniai AFM naudoja bakstelėjimo nuskaitymą, todėl antgalis labiau linkęs nusidėvėti, tačiau mūsų True Non-Contact™ režimas gali veiksmingai apsaugoti antgalį ir pailginti jo tarnavimo laiką.
