Dangos storio matuoklių klasifikavimas ir matavimo principai
Vis labiau tobulėjant technologijoms, ypač pastaraisiais metais diegiant mikrokompiuterių technologiją, storio matuokliai, naudojantys magnetinių ir sūkurinių srovių metodus, padarė tolesnę pažangą link miniatiūrizavimo, intelektualumo, daugiafunkciškumo, didelio tikslumo ir praktiškumo, susijusių su dangos storio matuoklių klasifikavimu ir matavimo principais. Matavimo skiriamoji geba pasiekė 0,1 mikrono, o tikslumas gali siekti 1%, o tai labai pagerėjo. Jis turi platų pritaikymo spektrą, platų matavimo diapazoną, paprastą valdymą ir mažą kainą, todėl yra plačiai naudojamas storio matavimo prietaisas pramonėje ir moksliniuose tyrimuose. Neardomųjų metodų naudojimas nepažeidžia dangos ar pagrindo, o aptikimo greitis yra greitas, todėl galima ekonomiškai atlikti daug bandymo darbų.
Dangos storio matavimas tapo svarbia perdirbimo pramonės ir paviršių inžinerijos kokybės tikrinimo dalimi ir yra būtina priemonė gaminiams pasiekti puikių kokybės standartų. Siekiant internacionalizuoti savo gaminius, taikomi aiškūs Kinijos eksportuojamų prekių ir su užsieniu susijusių projektų dangos storio reikalavimai.
Pagrindiniai dangos storio matavimo metodai yra pleišto pjovimo metodas, šviesos pjovimo metodas, elektrolizės metodas, storio skirtumo matavimo metodas, svėrimo metodas, rentgeno fluorescencijos metodas, beta spindulių atgalinės sklaidos metodas, talpos metodas, magnetinio matavimo metodas ir sūkurinės srovės matavimo metodas. Pirmieji penki iš šių metodų yra nuostolingas aptikimas, kurio matavimo metodai yra sudėtingi, lėtas greitis ir dažniausiai tinka mėginių tikrinimui.
Rentgeno ir beta spindulių metodai yra ne-kontaktiniai neardomieji matavimai, tačiau įranga sudėtinga ir brangi, o matavimo diapazonas mažas. Dėl radioaktyviųjų šaltinių naudotojai privalo laikytis radiacinės saugos taisyklių. Rentgeno spindulių metodu galima išmatuoti itin plonas dangas, dvigubas dangas ir lydinio dangas. Beta spindulių metodas tinka matuoti dangas ir substratus, kurių atominis skaičius didesnis nei 3. Talpos metodas naudojamas tik plonų laidininkų izoliacijos dangų storiui matuoti.
Dangos storio matuoklio principai ir instrumentai: Dangos storio matuoklio klasifikavimas ir matavimo principai
