Konfokalinių mikroskopų taikymas puslaidininkių pramonėje
Didelio masto Todėl tikslus plokštelių pjovimo griovelio dydžio valdymas ir matavimas yra esminė gamybos proceso grandis.
Konfokalinis mikroskopas yra mikroskopinis aptikimo įtaisas, kurį paleido Zhongtu Instrument, plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos ir pakavimo procesuose. Jis gali atlikti ne-kontaktinį nuskaitymą ir atkurti sudėtingų formų ir stačių lazeriu išpjaunamų griovelių paviršiaus ypatybių trimatę morfologiją.
Konfokalinis mikroskopas turi puikią optinę skiriamąją gebą, o per aiškią vaizdo gavimo sistemą jis gali išsamiai stebėti plokštelės paviršiaus charakteristikas, pvz., ar nėra defektų, tokių kaip briaunų lūžimas ir įbrėžimai ant plokštelės paviršiaus. Elektrinis bokštas gali automatiškai perjungti skirtingus objektyvo padidinimus, o programinė įranga automatiškai užfiksuoja funkcijų kraštus, kad būtų galima greitai išmatuoti dviejų-dimensijų dydį ir taip efektyviau aptikti plokštelės paviršių ir kontroliuoti jo kokybę.
Pjaunant plokšteles lazeriu, reikia tiksliai nustatyti padėtį, kad būtų galima iškirpti griovelius pagal teisingą plokštelės kontūrą. Plokščių segmentavimo kokybė paprastai matuojama pagal pjovimo griovelių gylį ir plotį. VT6000 serijos konfokalinis mikroskopas, pagrįstas konfokaline technologija ir aprūpintas didelės spartos-nuskaitymo moduliais, turi profesionalią analizės programinę įrangą su kelių sričių ir automatinio matavimo funkcijomis. Jis gali greitai atkurti išbandytos plokštelės lazerinio griovelio trimatį-kontūrą ir atlikti kelių profilių analizę, kad gautų skerspjūvio kanalo gylio ir pločio informaciją.
